s-3400n扫描电子显微镜
s-3400n具有最新开发的电子光学系统,强大的自动化功能,操作更简易。
特点:
1. s-3400n具有强大的自动功能,包括自动灯丝饱和、4偏压、自动枪对中、自动束流设定、
自动合轴自动聚焦和消像散、自动亮度对比度等。
2. 在3kv低加速电压时保证有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高灵敏半导体式背散射探头。
4. s-3400n ii型具有五轴马达台,倾斜角度可达-20度~+90度,样品最高可达80mm。
5. 分析样品仓可以同时安装edx , wdx 及ebsd。
6. 真空系统使用涡轮分子泵,洁净、高效。
技术指标:
项目 描述
se分辨率 3.0nm (30kv),高真空模式
10nm (3kv), 高真空模式
bse分辨率 4.0nm (30kv),低真空模式
放大倍率 x5 ~ x300,000
加速电压 0.3 ~ 30 kv
低真空范围 6 ~ 270 pa
最大样品尺寸 直径200mm
样品台 i型 ii型
x 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm
y 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm
z 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm
r 360º 360º
t -20º~ +90º -20º ~ +90º
最大样品高度 35mm (wd=10mm) 80mm (wd=10mm)
驱动类型 手动 五轴马达驱动
灯丝 预对中钨灯丝
物镜光栏 可移动式4孔物镜光栏
枪偏压 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏
检测器 二次电子检测器
高灵敏度半导体背散射电子检测器
分析位置 wd=10mm, toa=35o
控制 鼠标、键盘,手动旋钮
自动调校 自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦
消像散、自动亮度对比度
苏州佐藤精密仪器有限公司
13812665483
中国 苏州