电动真空位移台真空运动平台真空直线模组滑台采用了适合真空度达10^-5Pa级别的真空步进电机，所有的机械部件都使用高度真空兼容润滑脂润滑,具有耐真空耐高温低出气耐低温等特点，是高精度电动真空位移平台,真空运动平台。
特点
*环境温度从-196℃(-320.8℉)to+200℃(+392℉)
*真空度10-7Pa(10-9mbar)
产品主要
*真空室
*高温室
*高洁净度环境
真空位移台真空运动平台真空直线模组滑台充分考虑真空状态工艺处理，铝零件没有进行过阳极氧化处理,电动真空位移台在装运发送之前在真空室中进行清洗和包装，用户购买后可立即置入真空环境中不会破坏真空环境。
真空步进电机型号(未安装)57/86电机
重复定位精度(mm)±0.05
传动件滚珠螺杆
最高转速(rpm)1000
行程(mm)50～800
导程(mm)125101620
最大行程速度(mm/s)10255080100
承载重量(Kg)水平1746292415
垂直6171211-
静态容许力矩(Nm)MA30
MB32
MC58
真空XY直线平移台（真空直线模组滑台）是为真空环境应用设计的真空XY直线位移台和真空XY平移台,的行程范围是800x800mm,采用不锈钢轨道设计,具有极强的稳定性