研究发现箱式高温电炉的开炉生产
箱式高温电炉的开炉生产退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺,其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。
1将温度自动控制仪表按工艺请求定好温度。2将控制“手把”放在自动控制的位置升温。3冷炉升温,到温后保温2即可装入工件,连续消费,允许连续装炉。4零件在炉内应置放平均、平稳,不允许零件和电热丝接触。5严厉按工艺规程停止操作。
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