- 是否提供加工定制：
- 类型：
- 型号：CVDCVD
- 品牌：西尼特
- 加热功率：
- 电源频率：
- 电源相数：
- 电源电压：
- 重量：
- 产品认证：
- 外形尺寸：
- 工作室尺寸：
- 装载量：
- 炉膛尺寸：
- 空炉升温时间：
- 额定温度：
- 主要用途：
介绍:
※产品描述：
cnt公司pecvd设备主要由全真空专用不锈钢腔体，分子泵高真空系统，电源，生长机体载体及温控系统，独立排气和生长压力调节系统，冷却循环水辅助设备等组成。整机结构紧凑、操作方便、抽真空速度快。此设备控制系统采用逻辑按钮手动控制与工控机自控控制可选。实现真空抽气和镀膜工艺一体化功能。此设备可用于制作sio2、si3n4、非晶si：h、多晶si、sic、w、ti-si、gaas、gasb等介电、半导体及金属膜等。
※技术指标：
参 数 名 称
单 位
配置
沉积类型
二氧化硅，氮化硅，类金刚石等
电 源
射频电源，带正向功率和反射功率计指示，带匹配器
加热系统
平板式双反应室系统，带加温和匀气系统
工 作 温 度
℃
100~600℃
基片台尺寸
(φ×h)mm
1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
基片台转速
转速0-20rpm
控 温 精度
℃
±1
极限真空
pa
8.0×10-5
密封系统
磁流体密封
水冷、气路系统
冷却水循环机、无噪声气泵
报警及保护
对缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警及相应保护措施
真空系统
（选 配）
真空系列
单级机械泵、扩散泵机组、分子泵
工作腔体
不锈钢
气氛系统
浮子流量计、进口、国产质量流量计
记录装置
进口、国产无纸记录仪
备注：西尼特可根据阁下要求提供各种非标产品的设计制造，欢迎来函、来电咨询！
24小时热线：400-668-6260 fax:010-51418223
西尼特（北京）电炉有限公司
庞通
18610138965
北京市燕郊开发区神威北路