esr型适用于从负载锁定和sem等轻型工艺到腐蚀性工艺的广泛应用。eb原已经认识到独立罗茨干式真空泵对能源效率，小尺寸和重量的需求。
ebara真空泵维修 esr 产品详情
esr型适用于从负载锁定和sem等轻型工艺到腐蚀性工艺的广泛应用。eb原已经认识到独立罗茨干式真空泵对能源效率，小尺寸和重量的需求。
特征特点
理想的配置，尤其适用于腐蚀性气体（耐腐蚀材料）占地面积小，重量轻无需轴封n2：esr20n型（适用于非腐蚀性应用）采用新的微处理器技术进行灵敏控制在泵运行期间轻松更换lcd控制器降低运营成本增强的泵rpm控制功能：可控制范围广，怠速模式提供数字和模拟信号：用于与处理工具的灵活接口*的数据存储能力n2警告设置可在lcd控制器上调节提供semi-s2 / ce标记/ nrtl