中国电子科技集团公司第四十八研究所
中国电子科技集团公司第48研究所是我国唯一的从事研究\开发\制造以"三束"为主的半导体微细加工设备的厂家. 它通过了 GB/T1 9001-2000 (idt ISO9001:2000) 质量体系认证.
我所主要开发五大系列的产品:1、离子注入机\电子束曝光机\扩散氧化系统\CVD设备\外延设备;2、磁性材料烧结设备;3、LED制造设备; 4、薄膜压力传感器;5、 SOI材料研究开发和材料改性的研究开发。
目前,我所大力发展太阳能电池,在北京建成一条太阳能电池生产线。
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