旧半导体设备进口报关流程如下：
1. 准备进口文件：进口代理需要准备进口合同、发票、装箱单、提单、保险单等文件。
2. 缴纳关税和增值税：进口代理需要向海关缴纳关税和增值税。
3. 办理报关手续：进口代理需要向海关提交申报单、报关单、检验检疫证书等文件，海关会对进口设备进行检查和鉴定。
4. 缴纳检验检疫费用：进口代理需要向检验检疫部门缴纳检验检疫费用。
5. 办理清关手续：海关完成检查和鉴定后，进口代理需要向海关缴纳清关费用，然后办理清关手续，包括放行、提货等。
6. 进行安装和调试：进口设备完成清关后，需要进行安装和调试，确保设备正常运行。
需要注意的是，旧半导体设备进口需要符合相关法律法规和技术标准，否则可能会被海关拒绝进口。此外，进口代理需要了解目的地国家的进口政策和要求，以便顺利完成进口报关流程。