电容传感器的等效电路

rp：代表极板间的泄漏电阻和涡流损耗。
rs：代表引线电阻、电容器支架和极板电阻的损耗。
l：电感由电容器本身的电感和外部引线电感组成。
电容的实际相对变化量：
与传感器的固有电感l的角频率ω有关
优点：
①温度稳定性好
②结构简单、适应性强
③动态响应好
④可以实现非接触测量，具有平均效应点
缺点：
①输出阻抗高，负载能力差
②寄生电容影响大
③输出特性非线性